德國(guó)wika威卡壓力傳感器S-20
德國(guó)wika威卡壓力傳感器型號(hào)S-10已經(jīng)推出十年，廣泛應(yīng)用于石油化工、液壓、電力等行業(yè)。S-20作為S-10的繼任者具有更佳的性價(jià)比。
德國(guó)wika威卡微壓傳感器在測(cè)量過(guò)程中，壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，同時(shí)通過(guò)電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這個(gè)壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，這樣的過(guò)程就是微壓傳感器進(jìn)行測(cè)量的過(guò)程。
對(duì)于德國(guó)wika威卡壓力傳感器來(lái)說(shuō)，靈敏度和線性度是微壓力傳感器zui重要的兩個(gè)性能指標(biāo)。為了制作出能夠滿足實(shí)際應(yīng)用需求的傳感器，必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實(shí)際的研究中，發(fā)現(xiàn)一種基于對(duì)壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過(guò)這一方法實(shí)現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值下對(duì)傳感器電壓輸出值的估計(jì)，在此基礎(chǔ)上對(duì)壓力傳感器的靈敏度和線性度進(jìn)行了有效仿真。
德國(guó)wika威卡壓力傳感器發(fā)展迅速，新研制出的一類傳感器采用壓電單晶片結(jié)構(gòu)，并內(nèi)置前置放大器，通過(guò)放大器放大微弱信號(hào)并實(shí)現(xiàn)阻抗變換，從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點(diǎn)。德國(guó)wika威卡壓力傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動(dòng)等微小信號(hào)的檢測(cè)。但與此同時(shí)，對(duì)于微壓傳感器度的檢驗(yàn)這一技術(shù)難題，就迫切需要簡(jiǎn)便的測(cè)量裝置測(cè)量該類型傳感器的性能。
為了解決微壓力傳感器靈敏度和非線性的矛盾，在結(jié)構(gòu)上，綜合梁膜結(jié)構(gòu)與平膜雙島結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)，采用雙島-梁結(jié)構(gòu)。島區(qū)的面積不是按比例放大或縮小。首先，為了增加靈敏度，應(yīng)盡可能減小窄梁區(qū)的長(zhǎng)度和寬度。因?yàn)閺膶?duì)“梁-膜-島”結(jié)構(gòu)的有限元分析和近似解析分析中發(fā)現(xiàn)，減小窄梁區(qū)的長(zhǎng)度和寬度可以明顯地使梁上的應(yīng)力增大。并且當(dāng)中間窄梁的長(zhǎng)度約為兩邊窄梁長(zhǎng)度的2倍時(shí)，器件的線性度。雖然有雙島限位結(jié)構(gòu)，但在高過(guò)載情況下，德國(guó)wika威卡壓力傳感的硅膜將首先從島的邊區(qū)和角區(qū)破裂。這是因?yàn)閭鹘y(tǒng)的島膜結(jié)構(gòu)都是采用常規(guī)的有掩模的各向異性濕法腐蝕，從硅片背面形成硅膜和背島。德國(guó)wika威卡壓力傳感的硅膜是晶面，邊框和背大島側(cè)面都是晶面，夾角為54.74°的銳角。根據(jù)力學(xué)原理，在角區(qū)存在應(yīng)力集中效應(yīng)，使硅膜在正面或背面受壓以后，角區(qū)會(huì)具有應(yīng)力的極值，因此破裂首先從該處發(fā)生。引入應(yīng)力勻散結(jié)構(gòu)以后，使角區(qū)變成具有一定曲率的圓角區(qū)，使該區(qū)的應(yīng)力極值下降。在硅膜與邊框或背島的交界處要形成有一定曲率半經(jīng)的緩變結(jié)構(gòu)，德國(guó)wika威卡壓力傳感采用一般的常規(guī)各向異性濕法腐蝕是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。為此，采用了掩模-無(wú)掩模各向異性濕法腐蝕技術(shù)。
德國(guó)wika威卡壓力傳感器應(yīng)用
危險(xiǎn)工業(yè)應(yīng)用
研發(fā)領(lǐng)域的高要求應(yīng)用
加工工業(yè)中的嚴(yán)苛環(huán)境
功能特性
測(cè)量范圍：0 ... 0.04至0 ... 160 MPa
非線性度：高達(dá)量程的0.125 %
不同輸出信號(hào)：4 ... 20 mA、DC 0 ... 10 V和DC 1 ... 5 V 等
標(biāo)準(zhǔn)電氣接口：DIN 175301-803 A赫斯曼接口
通用過(guò)程連接件
描述
適合一般工業(yè)應(yīng)用的S-20型壓力變送器是有高測(cè)量要求用戶的理想解決方案。該型號(hào)變送器準(zhǔn)確度高，不僅堅(jiān)固耐用而且具備多種版本，可滿足各種的應(yīng)用要求。
多功能
S-20型變送器可提供從0 ... 0.04 MPa至0 ... 160 MPa的不同測(cè)量范圍，支持所有常見(jiàn)壓力單位。該型號(hào)變送器支持所有標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)輸出信號(hào)，并配有通用過(guò)程連接件以及各式電氣接口，使得用戶可選擇不同的測(cè)量范圍。此外，該型號(hào)變送器還提供了多種選項(xiàng)，如不同的準(zhǔn)確度等級(jí)、擴(kuò)展溫度范圍以及客戶定制的引腳分配。
高品質(zhì)
S-20型壓力變送器采用耐用型設(shè)計(jì)，品質(zhì)，即使在zui惡劣的環(huán)境條件下也能正常工作。該型號(hào)變送器可以滿足所有應(yīng)用要求，無(wú)論是在戶外低溫條件下、機(jī)械制造業(yè)的劇烈沖擊和震動(dòng)環(huán)境中，還是化工領(lǐng)域的腐蝕介質(zhì)中。
可實(shí)用性
我們可提供本數(shù)據(jù)手冊(cè)中列舉的所有版本的變送器，并且可以在短時(shí)間內(nèi)完成交付。此外，我們庫(kù)存充足，可在*時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)交付，滿足客戶迫切的應(yīng)用要求。
